고성능 160kV급 Micro-focus Open Tube를 장착한 장비로 최소 1㎛의 미세한 불량이 검출가능한 검사장비입니다.
고가의 Open Tube를 기본으로 장착함으로써 세계 최고의 배율로 고해상도의X-ray 이미지 획득 할 수 있습니다.
필요 시 Dual CT 기능을 언제든 추가 구성이 가능하며, 이를 통해 정확한 불량의 위치와 크기를 검출하여 분석 할 수 있습니다.
X-ray Tube | 160 kV / 200 uA (option 160 kV / 500A) |
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Min. Resolution | 0.9 um |
Table Size | 460 X 510 mm |
AXIS | X, Y, Z, R, T, Y-AFT |
Detector | 5 inch FPXD |
CT Scan 방식 | Oblique CT / Cone beam CT |
Foot print | 1,340mm x 1,460mm x 1,670mm |
Weight | 2,000kg |